一种显影补偿装置

摘要：

本实用新型涉及印制电路板工艺，公开了一种显影补偿装置，其由显影工艺装置和水洗工艺装置组成，显影工艺装置与水洗工艺装置之间还设置有显影补偿工艺装置，显影补偿工艺装置内添加有显影剂稀释药剂。本实用新型除继续微显影外，还对原显影残液进行稀释，减轻后短水洗段对显影残液的清洗压力，改造成本较低，同时不增加车间空间压力。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420139834.6

申请日期：2014-03-26

公开/公告号：CN203811987U

公开/公告日：2014-09-03

主分类号：G03F7/30(2006.01)I

申请/专利权人:昆山市鸿运通多层电路板有限公司

发明/设计人:王健康

主申请人地址:215000 江苏省苏州市昆山市千灯镇吴桥村

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种显影补偿装置，其由显影工艺装置和水洗工艺装置组成，其特征在于：所述显影工艺装置与所述水洗工艺装置之间还设置有显影补偿工艺装置，所述显影补偿工艺装置内添加有显影剂稀释药剂。