一种掩模颗粒度检测装置

摘要：

本实用新型提供一种掩模颗粒度检测装置，包括：掩模版、吸版台、颗粒度交接机构、颗粒度检测设备和环境防护装置；其中，所述颗粒度交接机构做升降运动将所述掩模版运送至一颗粒度检测工位，被所述吸版台真空吸附固定，由所述颗粒度检测设备进行颗粒度检测；所述环境防护装置，用于将所述颗粒度检测设备与外界环境隔离。通过颗粒度交接机构保证了运动精度及重复性；通过有效的安全互锁机制解决进行颗粒度检测时进行交接物料的安全问题；通过环境防护装置解决颗粒度检测设备的工作环境问题。通过的本实用新型的检测流程，使颗粒度检测设备同时具有高精度、高稳定性、高安全性及更加洁净的工作环境。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420138725.2

申请日期：2014-03-25

公开/公告号：CN203838473U

公开/公告日：2014-09-17

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:孙鹤源;王长刚

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种掩模颗粒度检测装置，其特征在于，包括：掩模版、吸版台、颗粒度交接机构、颗粒度检测设备和环境防护装置；其中，所述颗粒度交接机构做升降运动将所述掩模版运送至一颗粒度检测工位，所述掩模版被所述吸版台真空吸附固定，由所述颗粒度检测设备进行颗粒度检测；所述环境防护装置，用于将所述颗粒度检测设备与外界环境隔离。