一种清洁设备

摘要：

本实用新型涉及一种清洁设备，包括：一箱体；设置于所述箱体内，位置可移动的清洁装置；设置于所述箱体内用于承载待清洁掩膜板的承载装置；检测装置，用于对所述待清洁掩膜板的所有检测点进行检测，获取一检测结果；控制器，用于根据所述检测结果控制所述清洁装置对所述待清洁掩膜板上存在的灰尘进行定点清除。本实用新型的有益效果是：检测装置发现灰尘的具体位置、通过可移动的清洁装置定点清除灰尘，以在曝光工艺中提高产品的良率。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420129816.X

申请日期：2014-03-21

公开/公告号：CN203811982U

公开/公告日：2014-09-03

主分类号：G03F1/82(2012.01)I

申请/专利权人:北京京东方显示技术有限公司%京东方科技集团股份有限公司

发明/设计人:王守坤;郭会斌;冯玉春;张小祥;刘晓伟;郭总杰

主申请人地址:100176 北京市经济技术开发区经海一路118号

专利代理机构:北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人:许静%安利霞

国别省市代码:北京;11

权利要求：

一种清洁设备，其特征在于，包括： 一箱体； 设置于所述箱体内，位置可移动的清洁装置； 设置于所述箱体内用于承载待清洁掩膜板的承载装置； 检测装置，用于对所述待清洁掩膜板的所有检测点进行检测，获取一检测结果； 控制器，用于根据所述检测结果控制所述清洁装置对所述待清洁掩膜板上存在的灰尘进行定点清除。