一种去边液处理装置

摘要：

本实用新型提供了一种去边液处理装置，包括压力气源、承压罐、出液管路，承压罐内装有去边液，压力气源通过气体管路与承压罐相连，出液管路与承压罐相连，出液管路上设有流量计和气动阀，所述压力气源的气源为氦气；出液管路上还设有真空罐；真空罐内设有用于供去边液流通的管道，该管道为特氟龙管。本实用新型提供了一种避免在去边过程中的会产生气阻现象的去边液处理装置。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420050345.3

申请日期：2014-01-26

公开/公告号：CN203732879U

公开/公告日：2014-07-23

主分类号：G03F7/30(2006.01)I

申请/专利权人:西安神光安瑞光电科技有限公司

发明/设计人:张亚鹏;罗建华;陈起伟;郭鹏

主申请人地址:710100 陕西省西安市航天基地东长安街888号

专利代理机构:西安智邦专利商标代理有限公司 61211

代理人:倪金荣

国别省市代码:陕西;61

权利要求：

一种去边液处理装置，包括压力气源、承压罐、出液管路，承压罐内装有去边液，压力气源通过气体管路与承压罐相连，出液管路与承压罐相连，出液管路上设有流量计和气动阀，其特征在于：所述压力气源的气源为氦气；出液管路上还设有真空罐；真空罐内设有用于供去边液流通的管道，该管道为特氟龙管。