一种低热弹性阻尼扭转式微机电谐振器件
本实用新型公开了一种低热弹性阻尼扭转式微机电谐振器件,包括基底、设置在基底上的低热弹性阻尼结构、驱动电极和感应电极,以及由低热弹性阻尼结构支撑的扭转平板,低热弹性阻尼结构包括位于同一轴线上的、具有矩形截面的第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁,扭转平板能够绕第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁所在的轴线旋转,驱动电极和感应电极对称设置在低热弹性阻尼结构的轴线两侧,第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁的矩形截面的长边垂直于基底。本实用新型中扭转支撑梁横截面的长边保持垂直于基底平面,此时产生的热弹性阻尼是小于长边水平放置,尤其是高频时,热弹性阻尼明显下降。
实用新型
CN201420001856.6
2014-01-02
CN203675064U
2014-06-25
H03H9/24(2006.01)I
东南大学
李普;方玉明;台永鹏
211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号
南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249
杨晓玲
江苏;32
一种低热弹性阻尼扭转式微机电谐振器件,其特征在于,该器件包括基底(4)、设置在所述基底(4)上的低热弹性阻尼结构、驱动电极(5)和感应电极(6),以及由所述低热弹性阻尼结构支撑的扭转平板(1),所述低热弹性阻尼结构包括位于同一轴线上的、具有矩形截面的第一扭转支撑梁(2)和第二扭转支撑梁(3),扭转平板(1)能够绕第一扭转支撑梁(2)和第二扭转支撑梁(3)所在的轴线旋转,所述驱动电极(5)和感应电极(6)对称设置在低热弹性阻尼结构的轴线两侧,所述第一扭转支撑梁(2)和第二扭转支撑梁(3)的矩形截面的长边垂直于基底(4)。