一种匀胶机的光刻胶回收系统

摘要：

本实用新型涉及光刻胶回收技术领域，公开了一种匀胶机的光刻胶回收系统，包括至少两个光刻胶喷嘴，与光刻胶喷嘴对应设置的旋转涂布杯罩，设于旋转涂布杯罩下侧的旋转涂布杯罩排液管，还包括与每个光刻胶喷嘴单独连通的光刻胶接漏壶下排管，与每个光刻胶接漏壶下排管单独连通的液体储存槽，以及设于旋转涂布杯罩排液管下端的管路匹配选择装置，所述管路匹配选择装置通过管道与液体储存槽连通，并且所述管路匹配选择装置还通过管道与光刻胶过滤器排泄管连通。本实用新型设置了与光刻胶喷嘴数量一致的液体储存槽，并采用管路匹配选择装置将不同光刻胶喷嘴所喷出的光刻胶单独的回收到相应的液体储存槽中，减少了光刻胶的浪费。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420000753.8

申请日期：2014-01-01

公开/公告号：CN203745794U

公开/公告日：2014-07-30

主分类号：G03F7/16(2006.01)I

申请/专利权人:长沙创芯集成电路有限公司

发明/设计人:刘庆超;徐海波

主申请人地址:410100 湖南省长沙市长沙经开区三一路89号圣力大厦5楼

国别省市代码:湖南;43

权利要求：

一种匀胶机的光刻胶回收系统，包括至少两个光刻胶喷嘴（1），与光刻胶喷嘴（1）对应设置的旋转涂布杯罩（3），设于旋转涂布杯罩（3）下侧的旋转涂布杯罩排液管（4），其特征在于：还包括与每个光刻胶喷嘴（1）单独连通的光刻胶接漏壶下排管（2），与每个光刻胶接漏壶下排管（2）单独连通的液体储存槽（7），以及设于旋转涂布杯罩排液管（4）下端的管路匹配选择装置（14），所述管路匹配选择装置（14）通过管道与液体储存槽（7）连通，并且所述管路匹配选择装置（14）还通过管道与一光刻胶过滤器排泄管（6）连通。