产生光刻胶图案的方法和装置及其预烘装置

摘要：

本发明提供一种产生光刻胶图案的方法和装置及其预烘装置，预烘装置包括：加热板；加热控制器，与所述加热板耦接并控制所述加热板的温度；以及支撑板，通过连接部与所述加热板连接并与所述加热板成一定角度，一涂布光刻胶后的基板置于支撑板上并由所述加热板产生的热量预烘，其中，由于所述支撑板与所述加热板成一定角度，所述支撑板的两端所受到的加热板的热量产生差异。通过不同的加热温度使得光刻胶溶剂的蒸发速率不同，进而使得光刻胶与显影液的显影反应速度不同，以减少显影液涂布的时间差产生的影响，使得最后光刻胶线宽相同。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410499394.X

申请日期：2014-09-25

公开/公告号：CN104199256A

公开/公告日：2014-12-10

主分类号：G03F7/16(2006.01)I

申请/专利权人:上海和辉光电有限公司

发明/设计人:林永富;郑宪鸿;吴韦良

主申请人地址:201500 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室

专利代理机构:隆天国际知识产权代理有限公司 72003

代理人:冯志云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种产生光刻胶图案的预烘装置，其特征在于，包括：加热板；加热控制器，与所述加热板耦接并控制所述加热板的温度；以及支撑板，通过连接部与所述加热板连接并与所述加热板成一定角度，一涂布光刻胶后的基板置于所述支撑板上并由所述加热板产生的热量预烘，其中，由于所述支撑板与所述加热板成一定角度，所述支撑板的两端所受到的加热板的热量产生差异。