一种相变光刻胶及其制备方法

摘要：

本发明提供了一种相变光刻胶的制备方法，包括：将端马来酰亚胺基pH响应聚合物与巯基化光驱动质子泵进行交联反应，得到相变光刻胶。本发明提供的制备方法以端马来酰亚胺基pH响应聚合物与巯基化光驱动质子泵为原料，将以端马来酰亚胺基pH响应聚合物与巯基化光驱动质子泵进行一步交联反应，即可得到相变光刻胶。与现有技术相比，本发明提供的光刻胶的制备方法步骤少、操作简单，缩短了工艺流程，减少了工业上生产设备的使用和投入，利于大规模工业化生产。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410493318.8

申请日期：2014-09-24

公开/公告号：CN104199254A

公开/公告日：2014-12-10

主分类号：G03F7/004(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院天津工业生物技术研究所

发明/设计人:冯淼;田敬东;王璐;王丽娜

主申请人地址:300308 天津市滨海新区空港经济区西七道32号

专利代理机构:北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人:赵青朵

国别省市代码:天津;12

权利要求：

一种相变光刻胶的制备方法，包括：将端马来酰亚胺基pH响应聚合物与巯基化光驱动质子泵进行交联反应，得到相变光刻胶。