一种投影式曝光设备及使用方法

摘要：

本发明公开了一种投影式曝光设备及使用方法，包括光源、空间光调制器和曝光板材；在此基础上，还包括吹气管，吹气管安装在曝光板材表面的前方，吹气管上开有多个出风口，所述的出风口的出风位置对应曝光板材表面易堆积赃物的区域。本发明通过在曝光板材表面的前方增加了吹气管，在光束二到达待曝光板材表面的同时，吹气管出风，经由出风口对曝光板材表面易堆积赃物区域进行吹扫，待赃物全清除后停止出风，从而避免了因赃物污染，导致光束无法直接照射到板材表面，从而赃物覆盖处无法发生化学感光聚合反应，出现图形的缺失而引起一系列的品质缺陷的情况的发生，降低了报废率的同时，提升了PCB良率，具有广泛的市场前景和使用价值。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410472609.9

申请日期：2014-09-17

公开/公告号：CN104216240A

公开/公告日：2014-12-17

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:江苏影速光电技术有限公司

发明/设计人:王宇航;曹旸

主申请人地址:221399 江苏省徐州市邳州市经济开发区华山路

专利代理机构:徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244

代理人:刘新合

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种投影式曝光设备，包括光源（1）、空间光调制器（3）和曝光板材（5）；其特征在于，还包括吹气管（8），所述的吹气管（8）安装在曝光板材（5）表面的前方，吹气管（8）上开有多个出风口，所述的出风口的出风位置对应曝光板材（5）表面易堆积赃物（7）的区域。