f-theta光学镜头

摘要：

本发明提出了一种f-theta光学镜头，包括沿光线入射方向设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜，其中，所述第一透镜为凹凸型正透镜，所述第二透镜为双凹型负透镜，所述第三透镜为凹凸型正透镜，所述第四透镜为凹凸型正透镜，所述第五透镜为平凸型正透镜。本发明f-theta光学镜头实现了355nm波长的紫外激光束在X/Y方向0～11°的半视场入射角度范围内角度变化与基片上0～50mm范围内光刻位置的准确线性映射关系，使激光束焦点的定位更精确，能量分布更均匀和集中，满足了光刻工艺的精度要求，且结构紧凑、成本较低。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410457580.7

申请日期：2014-09-10

公开/公告号：CN104317034A

公开/公告日：2015-01-28

主分类号：G02B13/00(2006.01)I

申请/专利权人:中国电子科技集团公司第四十五研究所

发明/设计人:孙明睿;刘金荣;蒲继祖

主申请人地址:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区泰河三街1号

专利代理机构:北京中建联合知识产权代理事务所 11004

代理人:朱丽岩

国别省市代码:北京;11

权利要求：

一种f‑theta光学镜头，其特征在于，包括沿光线入射方向设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜，其中，所述第一透镜为凹凸型正透镜，所述第二透镜为双凹型负透镜，所述第三透镜为凹凸型正透镜，所述第四透镜为凹凸型正透镜，所述第五透镜为平凸型正透镜，该镜头的焦距为257mm，入瞳直径为15mm，入射光波长为355nm，视场角为11°，加工面积为100×100mm。