一种光罩自动派工控制方法及控制系统

摘要：

本发明公开了一种光罩自动派工控制方法，包括：获得每一个光罩的可作业机台、可作业机台数量和使用该光罩的制品的数量，以及每一个光刻机机台的可作业光罩和可作业光罩数量；在未分配的光罩中，将可作业机台数量最少的光罩分配至可作业光罩数量最少且可作业该光罩的光刻机机台；根据上述步骤的分配结果修改光刻机机台的可作业光罩和可作业光罩数量；重复上述步骤至全部光罩已被分配；根据全部光罩的分配结果生成自动派工控制表。本发明能够使生产线上每个光刻机台达到最大化利用，同时避免光刻机间负荷不平衡及光罩错放。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410428244.X

申请日期：2014-08-27

公开/公告号：CN104166317A

公开/公告日：2014-11-26

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海华力微电子有限公司

发明/设计人:冯亮

主申请人地址:201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

专利代理机构:上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人:吴世华%陈慧弘

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种光罩自动派工控制方法，用于将多个光罩分配至多个光刻机机台，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：获得每一所述光罩的可作业机台、可作业机台数量和使用该光罩的制品的数量，以及每一所述光刻机机台的可作业光罩和可作业光罩数量；步骤S2：在未分配的所述光罩中，将可作业机台数量最少的一个光罩分配至可作业光罩数量最少且可作业该光罩的一个所述光刻机机台；步骤S3：根据步骤S2的分配结果修改各所述光刻机机台的可作业光罩和可作业光罩数量；步骤S4：判断是否全部光罩已被分配至所述多个光刻机机台，如否则返回执行步骤S2；若是则执行步骤S5；步骤S5：根据全部所述光罩的分配结果生成自动派工控制表。