一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置

摘要：

一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置属于光刻投影制造技术领域，目的在于解决现有技术存在的耦合非线性误差、成本高和调节困难的问题。本发明包括镜框、传感器和驱动器；镜框包括外镜框、内镜框、支撑座、导向孔、连接螺纹孔、柔性导向机构和柔性连接机构；镜框整体为圆环结构，内镜框底部固定有支撑座，内镜框和外镜框间隙配合，内镜框和外镜框通过圆周均布的n组柔性连接机构连接，圆周方向上，相邻两个柔性连接机构之间设置有一组柔性导向机构，外镜框与柔性导向机构相对应位置设置有径向的导向孔，关于圆心对称的两个导向孔分别设置有一个驱动器和一个传感器。本发明柔性板簧单元一体式结构，成本低，降低了正交方向的耦合非线性误差。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410427113.X

申请日期：2014-08-26

公开/公告号：CN104216237A

公开/公告日：2014-12-17

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

发明/设计人:张德福;李显凌;赵磊;郭抗;隋永新;杨怀江

主申请人地址:130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

专利代理机构:长春菁华专利商标代理事务所 22210

代理人:南小平

国别省市代码:吉林;22

权利要求：

一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置，包括镜框、传感器(9)和驱动器(10)；其特征在于，所述镜框包括外镜框(2)、内镜框(3)、支撑座(4)、导向孔(5)、连接螺纹孔(6)、柔性导向机构(7)和柔性连接机构(8)；所述镜框整体为圆环结构，所述内镜框(3)底部固定有支撑座(4)，所述内镜框(3)和所述外镜框(2)间隙配合，所述内镜框(3)和外镜框(2)通过圆周均布的n组柔性连接机构(8)连接，圆周方向上，相邻两个柔性连接机构(8)之间设置有一组柔性导向机构(7)，所述外镜框(2)与柔性导向机构(7)相对应位置设置有径向的导向孔(5)，关于圆心对称的两个导向孔(5)分别设置有一个驱动器(10)和一个传感器(9)。