一种基于微反射镜阵列实现可变自由照明光瞳的方法

摘要：

本发明提供一种基于微反射镜阵列实现可变自由照明光瞳的方法，包括光斑位置测量，光斑位置优化，光斑位置校正等步骤。其中，CCD相机测量每个微反射镜单元处于静态时反射光斑的位置参数；将上述参数代入网格搜索蚁群算法中优化，得到产生所需光瞳形貌的微反射镜阵列旋转角度矩阵；计算加载旋转角度矩阵后目标面上测量光强分布与所需光强分布的光斑位置差异，将其作为反馈校正优化所得的微反射镜阵列旋转角度，使结果最终满足目标面上照明需求。本发明可实现如非圆周对称的复杂照明光瞳在内的多种照明模式，优化速度快，收敛性好，准确性高，具有较强的实用性。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410384829.6

申请日期：2014-08-06

公开/公告号：CN104111592A

公开/公告日：2014-10-22

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院光电技术研究所

发明/设计人:邢莎莎;杜猛;廖志杰;张海波;邢廷文

主申请人地址:610209 四川省成都市双流350信箱

专利代理机构:北京科迪生专利代理有限责任公司 11251

代理人:杨学明%顾炜

国别省市代码:四川;51

权利要求：

一种基于微反射镜阵列实现可变自由照明光瞳的方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：步骤(1)、用CCD相机测量每个微反射镜单元静态时照明目标面上反射光斑的位置参数；步骤(2)、将步骤(1)测量所得反射光斑的位置参数带入网格搜索蚁群算法中，优化出产生所需光强分布的微反射镜阵列旋转角度矩阵；步骤(3)、利用步骤(2)得到的旋转角度矩阵，生成各微反射镜驱动器的控制信号并控制微反射镜进行角度旋转，测量此时照明目标面上光强分布，将其与所需光强分布的光斑位置差异作为评价指标，对系统进行反馈控制，直到光斑位置差异满足设计要求。