一种声表面波谐振器及其制作方法
本发明公开了一种声表面波谐振器及其制作方法，包括一个叉指换能器、设置于叉指换能器两侧的反射栅以及谐振空腔；所述谐振空腔位于叉指换能器与反射栅之间，或者位于叉指换能器的中部。本发明的双模SAW谐振器的结构在根本上有异于传统的双模，即两个单模设计放在一个芯片上的SAW谐振器的设计，本发明是一个设计，而不是在一个芯片上的两个独立的设计，因此，本发明的谐振器不容易受到制造过程中差异的影响，同时芯片尺寸是传统的两个单模谐振器设计的50％左右，因此芯片成本更低。本发明的单端口双模SAW谐振器作为差分测量方式的无线无源传感器有广泛的应用，如温度传感器，压力传感器，加速度/振动传感器，应变传感器等等。
发明专利
CN201410364106.X
2014-07-28
CN104092446A
2014-10-08
H03H9/25(2006.01)I
常州智梭传感科技有限公司
高翔
213164 江苏省常州市常武中路801号常州科教城现代工业中心8号楼2楼
北京中济纬天专利代理有限公司 11429
徐琳淞
江苏;32
一种声表面波谐振器的制作方法，其特征在于：包括一个叉指换能器(1)、设置于叉指换能器(1)两侧的反射栅(2)以及谐振空腔(3)；所述谐振空腔(3)位于叉指换能器(1)与反射栅(2)之间，或者位于叉指换能器(1)的中部；步骤为：步骤一：以单端口反同步模式声表面波谐振器为制作基础，叉指换能器(1)电极的周期Λ<sub>IDT</sub>与反射栅(2)电极的周期Λ<sub>REF</sub>之间的关系为Λ<sub>IDT</sub>≠Λ<sub>REF</sub>；步骤二：增加叉指换能器(1)的电极数量N<sub>IDT</sub>，直至出现同步谐振高峰；步骤三：调整谐振空腔(3)的宽度d，直至出现反同步谐振高峰；步骤四：微调叉指换能器(1)的电极数量N<sub>IDT</sub>，反射栅(2)的电极数量N<sub>REF</sub>,以及叉指换能器(1)电极的周期Λ<sub>IDT</sub>与反射栅(2)电极的周期Λ<sub>REF</sub>之比Λ<sub>IDT</sub>/Λ<sub>REF</sub>，直至同步谐振高峰的强度与反同步谐振高峰强度相等。