一种大面积数字光刻光学系统

摘要：

本发明涉及一种大面积数字光刻光学系统。包括照明光学系统、数字微反射镜拼接中继系统和投影光学系统，照明光学系统包括半导体激光器、聚焦透镜、光纤均束器、扩束准直透镜组、平面反射镜；数字微反射镜拼接中继系统包括数字微反射镜、三个抛物面反射镜；投影光学系统包括两个透镜组、孔径光阑，半导体激光器发出的激光经聚焦透镜入射到光纤均束器，从光纤均束器出来的光斑经扩束准直透镜组整形后的光斑到达平面反射镜，并经平面反射镜到达数字微反射镜，经数字微反射镜出来的光斑经第一、二抛物面反射镜反射至第三抛物面反射镜，经第三抛物面反射镜出来的光斑经第一透镜组及孔径光阑到达第二透镜组。本发明精度高，生产效率高，操作简便。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410328696.0

申请日期：2014-07-11

公开/公告号：CN104142613A

公开/公告日：2014-11-12

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:广东工业大学

发明/设计人:刘海勇;周金运;刘丽霞;雷亮

主申请人地址:510006 广东省广州市番禺区广州大学城外环西路100号

专利代理机构:广州粤高专利商标代理有限公司 44102

代理人:林丽明

国别省市代码:广东;44

权利要求：

一种大面积数字光刻光学系统，其特征在于包括有照明光学系统、数字微反射镜拼接中继系统和投影光学系统，所述照明光学系统包括半导体激光器（1）、聚焦透镜（2）、光纤均束器（3）、扩束准直透镜组（4）、平面反射镜（7）；所述数字微反射镜拼接中继系统包括数字微反射镜（8）、第一抛物面反射镜（9）、第二抛物面反射镜（10）和第三抛物面反射镜（11）；所述投影光学系统包括第一透镜组（12）、孔径光阑（17）和第二透镜组（18），其中半导体激光器（1）发出的激光经聚焦透镜（2）入射到光纤均束器（3），从光纤均束器（3）出来的光斑经扩束准直透镜组（4）整形后的光斑到达平面反射镜（7），并经平面反射镜（7）到达数字微反射镜（8），经数字微反射镜（8）出来的光斑经第一抛物面反射镜（9）及第二抛物面反射镜（10）反射至第三抛物面反射镜（11），经第三抛物面反射镜（11）出来的光斑经第一透镜组（12）及孔径光阑（17）到达第二透镜组（18）。