一种接触式光刻机吸盘

摘要：

本发明公开了一种接触式光刻机吸盘，其包括金属吸盘本体，所述金属吸盘本体上开设有若干道真空吸气槽，其特征在于，所述金属吸盘本体上于最外侧的真空吸气槽的周边设置有密封部件。上述接触式光刻机吸盘在金属吸盘的周边设置一层密封部件。当真空吸气槽用来吸产品片时，同时也将光掩膜版与产品片间的空气吸走，在光掩膜版与产品片之间形成一层真空层，当光经过真空层时光的强度及方向性都不会受到影响，保持了UV光对胶的高分辨率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410316007.4

申请日期：2014-07-03

公开/公告号：CN104076619A

公开/公告日：2014-10-01

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:无锡宏纳科技有限公司

发明/设计人:吕耀安;翟继鑫

主申请人地址:214135 江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发区清源路20号太湖国际科技园传感网大学科技园立业楼D区一楼无锡宏纳科技有限公司

专利代理机构:北京品源专利代理有限公司 11332

代理人:徐鹏飞%胡彬

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种接触式光刻机吸盘，其包括金属吸盘本体，所述金属吸盘本体上开设有若干道真空吸气槽，其特征在于，所述金属吸盘本体上于最外侧的真空吸气槽的周边设置有密封部件。