一种四叶像差变形镜装置

摘要：

一种四叶像差变形镜装置属于光学系统的系统像差补偿领域，目的在于解决现有技术存在的难以检测弹片位移量和引入的刚体位移大的问题。本发明包括光学元件、可变形镜框、八个致动器、八个位移传感器、上固定板和下固定板；光学元件与可变形镜框之间通过胶粘或压紧的方式连成镜框组件，上固定板和下固定板分别通过螺钉固定在可变形镜框上，上固定板上设置有四个周向90°分布的致动器，下固定板上设置有四个周向90°分布的致动器，上固定板和下固定板上的八个致动器周向45°分布，致动器沿光学元件的光轴方向设置，输入位移垂直作用在可变形镜框上；八个位移传感器分别设置在上固定板和下固定板上，与八个致动器相对。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410312558.3

申请日期：2014-07-01

公开/公告号：CN104076618A

公开/公告日：2014-10-01

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

发明/设计人:刘震宇;赵磊;谢军;杨怀江;隋永新;张巍

主申请人地址:130033 吉林省长春市东南湖大路3888号

专利代理机构:长春菁华专利商标代理事务所 22210

代理人:南小平

国别省市代码:吉林;22

权利要求：

一种四叶像差变形镜装置，包括光学元件(1)和可变形镜框(2)，其特征在于，还包括八个致动器(3)、八个位移传感器(4)、上固定板(6)和下固定板(5)；所述光学元件(1)与可变形镜框(2)之间通过胶粘或压紧的方式组成镜框组件，所述上固定板(6)和下固定板(5)分别通过螺钉固定在可变形镜框(2)上，所述上固定板(6)上设置有四个周向90°分布的致动器(3)，所述下固定板(5)上设置有四个周向90°分布的致动器(3)，所述上固定板(6)和下固定板(5)上的八个致动器(3)周向45°分布，所述致动器(3)沿光学元件(1)的光轴方向设置，输入位移垂直作用在可变形镜框(2)上；所述八个位移传感器(4)分别设置在上固定板(6)和下固定板(5)上，与所述八个致动器(3)相对。