一种掩模台垂直运动分量的测量方法

摘要：

一种掩模台垂直运动分量的测量方法属于半导体制造装备技术领域；该方法通过四个激光三角位移传感器的位置坐标构成测量变换阵，利用该变换阵求解掩模台垂直运动分量；由于该方法使用四组独立的位移信息，经过测量模型解算，能够精确地得到掩模台的垂直运动分量，因此测量精度高、测量范围大、直观、易于实现。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410268177.X

申请日期：2013-03-18

公开/公告号：CN104007622A

公开/公告日：2014-08-27

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:哈尔滨工业大学

发明/设计人:黄向东;谭久彬

主申请人地址:150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

专利代理机构:哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209

代理人:张伟

国别省市代码:黑龙江;23

权利要求：

一种掩模台垂直运动分量的测量方法，其特征在于：第一激光三角位移传感器(101)、第二激光三角位移传感器(102)、第三激光三角位移传感器(103)和第四激光三角位移传感器(104)的位置坐标分别为(x1，0)，(x2，y2)，(x3，y3)，(x4，0)，其中：x1＝‑x4<0，x2＝‑x3<0，y3＝‑y2<0；其垂直方向Z的测量值组成矩阵Sens＝[Z1,Z2,Z3,Z4]，利用四个传感器坐标位置构成测量变换阵PrinvC，以及公式Dof＝PrinvC×Sens，得到掩模台(106)垂直运动分量Dof＝[z Rx Ry]，其中z为掩模台(106)Z向位置，Rx和Ry分别为掩模台(106)绕x轴和y轴的旋转角。