一种掩膜版除尘装置

摘要：

一种掩膜版除尘装置，包括密闭腔体、转轴、旋转支架、夹具、氮气喷嘴和抽气管路，掩膜版通过悬挂支架水平悬挂于密闭腔体内部的上方并可绕悬挂支架的转轴旋转，扁平形喷口的氮气喷嘴从掩膜版的下方对掩膜版表面进行清洁吹扫，然后通过抽气管路排出吹扫下来的尘埃颗粒和多余的氮气，同时氮气喷嘴的位置可由掩膜版的下方中心部位平移至掩膜版的边缘部位，该结构能避免夹杂有尘埃颗粒的气流对掩膜版的二次污染，还保证了氮气能吹扫到整个掩膜版的表面，以免出现盲区；本发明能全面、彻底的清除掩膜版表面的尘埃颗粒，并节省氮气消耗。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410260765.9

申请日期：2014-06-12

公开/公告号：CN103995434A

公开/公告日：2014-08-20

主分类号：G03F1/82(2012.01)I

申请/专利权人:上海华力微电子有限公司

发明/设计人:罗华明;毛智彪;杨正凯;王艳云

主申请人地址:201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

专利代理机构:上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人:吴世华%林彦之

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种掩膜版除尘装置，包括密闭腔体、设于腔体内的掩膜版固定机构和连接进气管路的氮气喷嘴，其特征在于，还包括设于腔体下方的抽气管路，所述掩膜版固定机构安装在所述密闭腔体内部的上方，包括水平夹持所述掩膜版的悬挂支架；所述氮气喷嘴设于所述悬挂支架的下方，所述氮气喷嘴的喷口截面呈扁平形；其中，从所述氮气喷嘴中喷出的氮气，可喷向所述掩膜版的下表面，对所述掩膜版的表面污染物进行清洁吹扫，清洁吹扫下来的污染物由所述抽气管路排出所述腔体。