一种润滑薄膜的制备方法

摘要：

本发明公开了一种润滑薄膜的制备方法，包括：对基底表面上的薄膜层进行预处理；旋涂光刻胶，加热后紫外固化形成中间层；形成紫外光固化纳米压印胶层；将软质压印模板压入紫外光固化纳米压印胶层，在紫外灯下曝光；刻蚀去除未曝光处残余的紫外光固化纳米压印胶，露出中间层；以紫外光固化纳米压印胶层作为掩膜层，刻蚀中间层，露出薄膜层；以紫外光固化纳米压印胶层和中间层作为掩膜，刻蚀薄膜层，在薄膜层上形成微纳结构；去除紫外光固化纳米压印胶层和中间层，获得所需润滑薄膜。本发明利用软压印复合纳米压印技术，有效地将所需的图案转移到薄膜上，可以在不规则的非平面上制备微纳结构的润滑薄膜。具有高效，低成本，高分辨率的特点。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410218285.6

申请日期：2014-05-22

公开/公告号：CN103984204A

公开/公告日：2014-08-13

主分类号：G03F7/00(2006.01)I

申请/专利权人:苏州锦元纳米科技有限公司%南京丰强纳米科技有限公司

发明/设计人:李丰;邓萌萌;石振;杨立梅

主申请人地址:215121 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号

专利代理机构:苏州创元专利商标事务所有限公司 32103

代理人:陶海锋

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

 一种润滑薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)对基底表面上的薄膜层进行预处理，以去除表面灰尘；(2)在薄膜层上旋涂SU‑8光刻胶，加热后紫外固化，形成中间层；(3)在中间层上旋涂紫外光固化纳米压印胶，形成紫外光固化纳米压印胶层；(4) 将软质压印模板压入紫外光固化纳米压印胶层，在紫外灯下曝光，曝光结束后移去软质压印模板，所述软质压印模板的下表面上设微纳结构图案； (5)刻蚀去除压印时残留的紫外光固化纳米压印胶，露出中间层；(6)以紫外光固化纳米压印胶层作为掩膜层，刻蚀中间层的SU‑8光刻胶，露出薄膜层；(7)以紫外光固化纳米压印胶层和中间层作为掩膜，刻蚀薄膜层，在薄膜层上形成微纳结构；(8)去除紫外光固化纳米压印胶层和中间层，获得所需润滑薄膜。