产酸剂和含有其的光刻胶

摘要：

产酸剂和含有其的光刻胶。本发明提供了产酸剂化合物，其包含氧代-1，3-二氧戊环部分和/或氧代-1，3-二噁烷部分。所述产酸剂特别用作光刻胶组合物的组份。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410212479.5

申请日期：2014-03-31

公开/公告号：CN104076601A

公开/公告日：2014-10-01

主分类号：G03F7/004(2006.01)I

申请/专利权人:罗门哈斯电子材料有限公司

发明/设计人:E·阿恰达;I·考尔;刘骢;C-B·徐

主申请人地址:美国马萨诸塞州

专利代理机构:上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人:陈哲锋

国别省市代码:美国;US

权利要求：

含有氧代‑1，3‑二氧戊环部分和/或氧代‑二噁烷部分的光致产酸剂。