一种平面电动机驱动的磁悬浮粗微动一体掩模台

摘要：

一种平面电动机驱动的磁悬浮粗微动一体掩模台，该粗微动一体掩模台包括粗微动一体掩模台动台、平衡质量、驱动电动机、掩模板、基座、隔振系统及测量系统；隔振系统位于平衡质量与基座之间，掩模板安装在粗微动一体掩模台动台上；掩模台动台的驱动电动机为动铁式平面电动机，该平面电动机动子为安装在粗微动一体掩模台动台顶面的永磁体阵列，平面电动机定子为安装在平衡质量上的线圈阵列。本发明可降低掩模台动台驱动电动机的设计复杂性；与直线电动机相比，平面电动机能够提供更多方向的推力，减少电动机的数量，使粗微动一体掩模台动台结构更加紧凑，提高粗微动一体掩模台动台的固有频率及控制带宽，进而提高控制精度。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410174870.0

申请日期：2014-04-28

公开/公告号：CN104122759A

公开/公告日：2014-10-29

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:清华大学%北京华卓精科科技有限公司

发明/设计人:张鸣;朱煜;支凡;成荣;杨开明;刘召;张利;秦慧超;赵彦坡;田丽;叶伟楠;张金;尹文生;穆海华;胡金春

主申请人地址:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室

专利代理机构:北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人:邸更岩

国别省市代码:北京;11

权利要求：

一种平面电动机驱动的磁悬浮粗微动一体掩模台，包括粗微动一体掩模台动台(100)、平衡质量(200)、粗微动一体掩模台动台的驱动电动机、掩模板(101)、基座(001)、隔振系统(500)及测量系统；隔振系统位于平衡质量与基座之间，掩模板安装在粗微动一体掩模台动台上，其特征在于：该粗微动一体掩模台动台的驱动电动机为动铁式平面电动机(300)；动铁式平面电动机动子(301)为安装在粗微动一体掩模台动台顶面的永磁体阵列，动铁式平面电动机定子(302)为安装在平衡质量上的线圈阵列。