MEMS振子、电子设备和移动体

摘要：

本发明提供MEMS振子、电子设备和移动体，可得到期望的振动模式。MEMS振子具有：振动部；电极部，其相对于振动部具有间隙而相对地设置；以及支承部，其从振动部在第1方向上延伸设置，振动部具有从第1方向观察时厚度不同的功能部。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410154056.2

申请日期：2014-04-17

公开/公告号：CN104113300A

公开/公告日：2014-10-22

主分类号：H03H9/02(2006.01)I

申请/专利权人:精工爱普生株式会社

发明/设计人:木原龙儿;岩本修

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人:李辉%黄纶伟

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种MEMS振子，其特征在于，该MEMS振子具有：振动部；电极部，其相对于所述振动部具有间隙而相对地设置；以及支承部，其从所述振动部起在第1方向上延伸设置，所述振动部具有功能部，该功能部在从所述第1方向观察的剖面中具有凹部或凸部。