一种装卡光学元件的力反馈精密支撑装置
本发明涉及一种装卡光学元件的力反馈精密支撑装置，该装置包括基座（1）、主支撑（2）、辅助支撑（3）和控制系统（4）。主支撑（2）和辅助支撑（3）环绕排列，固定在基座（1）上。主支撑（2）为三个刚性支点；若干辅助支撑（3）均匀分布在主支撑（2）之间,可以上下运动。所述辅助支撑（3）具体包括辅助支撑支架、顶升器、柔性件、力传感器。本发明采用控制系统控制顶升器动作，推动柔性件产生变形，带动辅助支撑点运动；由力传感器反馈获取支撑力，并能够通过对各辅助支撑力的闭环控制来实现对光学元件的低形变、稳定支撑。
发明专利
CN201410135683.1
2014-04-04
CN103885302A
2014-06-25
G03F7/20(2006.01)I
中国科学院光电技术研究所
杨汉生;侯溪;雷柏平;张娟;万勇建;吴永前;吴高峰;宋伟红
610209 四川省成都市双流350信箱
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251
杨学明
四川;51
一种装卡光学元件的力反馈精密支撑装置，其特征在于：包括：基座（1）、主支撑（2）、辅助支撑（3）和控制系统（4）；其中：所述基座（1）主体呈环圈形状；所述主支撑（2）为刚性支点，共三个，角度间隔均匀固定在基座（1）上；所述基座（1）和三个主支撑（2）之间还对称分布着若干个辅助支撑（3）；主支撑（2）、辅助支撑（3）与控制系统（4）相连接，控制系统（4）检测和控制主支撑（2）和辅助支撑（3）各处的支撑力；所述主支撑（2）包括主支撑支架（201）、主支撑力传感器（202）和球头支杆（203）；所述辅助支撑（3）包括辅助支撑支架（301）、顶升器（302）、柔性件（303）、辅助支撑力传感器（304）和球头支杆（305）；辅助支撑支架（301）固定在基座（1）上，并安装有顶升器（302）和柔性件（303），柔性件（303）的末端设置有辅助支撑力传感器（304），球头支杆（305）安装在辅助支撑力传感器（304）之上；光学元件放置在主支撑（2）的球头支杆（203）上，实现光学元件的定位与光轴定向；辅助支撑（3）在控制系统（4）的控制下顶升直至球头支杆（305）接触光学元件；这样，由主支撑（2）和辅助支撑（3）共同构成沿着光学元件外圆的多点支撑结构形式。