保持器、光刻装置以及制造物品的方法

摘要：

本发明提供了一种用于保持基质的保持器，该保持器包括：基部，该基部将由台板接收；该基部包括：第一表面，该第一表面布置成接收要由保持器保持的基质；以第二表面，该第二表面与第一表面相反地布置；第一支撑件，该第一支撑件提供于第二表面上、布置成包围形成于基部中的通孔并且构造成接触台板；第二支撑件，该第二支撑件提供于第二表面上并且布置成包围第一支撑件并接触台板；以及多个第一销，这些第一销提供于第二表面的、在第二支撑件与基部的外边缘之间的区域中，并且布置成接触台板。本发明还提供了一种光刻装置和一种制造物品的方法。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410118166.3

申请日期：2014-03-27

公开/公告号：CN104102093A

公开/公告日：2014-10-15

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:佳能株式会社

发明/设计人:神谷重雄

主申请人地址:日本东京

专利代理机构:中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人:柳爱国

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种用于保持基质的保持器，该保持器包括：基部，该基部将由台板接收；该基部包括：第一表面，该第一表面布置成接收要由保持器保持的基质；以第二表面，该第二表面与第一表面相反地布置；第一支撑件，该第一支撑件提供于第二表面上、布置成包围形成于基部中的通孔并且构造成接触台板；第二支撑件，该第二支撑件提供于第二表面上并且布置成包围第一支撑件并接触台板；以及多个第一销，这些第一销提供于第二表面的、在第二支撑件与基部的外边缘之间的区域中，并且布置成接触台板。