一种智能化选择性目标尺寸调整方法

摘要：

本发明公开了一种智能化选择性目标尺寸调整方法，包括如下步骤：接收原始版图数据；对原始版图数据进行逻辑运算，形成合成图形；对原始版图数据形成的合成图形进行选择性目标尺寸调整；判断经选择性目标尺寸调整后的中间版图是否符合设计规则；若符合设计规则，则保持选择性目标尺寸调整的结果，若不符合设计规则，则判断不符合规则的地方是属于第一类图形还是第二类图形；根据判断结果对不符合规则的地方进行相应处理；将以上各类结果进行整合，并进行基于模型的光学邻近效应修正，输出最终的OPC数据，本发明于违反设计规则的图形出现时，能保证结果在不违反设计规则的同时，根据实际需求对该类图形进行不同的智能化处理。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410111322.3

申请日期：2014-03-24

公开/公告号：CN103941550A

公开/公告日：2014-07-23

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海华力微电子有限公司

发明/设计人:陈翰;魏芳;张旭升;夏国帅

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:王宏婧

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种智能化选择性目标尺寸调整方法，包括如下步骤：步骤一，接收原始版图数据；步骤二，对原始版图数据进行逻辑运算，形成合成图形；步骤三，对原始版图数据形成的合成图形进行选择性目标尺寸调整；步骤四，判断经选择性目标尺寸调整后的中间版图是否符合设计规则；步骤五，若符合设计规则，则保持选择性目标尺寸调整的结果，若不符合设计规则，则判断不符合规则的地方是属于第一类图形还是第二类图形；步骤六，根据判断结果对不符合规则的地方进行相应处理；步骤七，将以上各类结果进行整合，并进行基于模型的光学邻近效应修正，输出最终的OPC数据。