一种采用压缩感知技术的光源优化方法
本发明提供一种采用压缩感知技术的光源优化方法。本方法首先选定一组标准正交基，使得光源图形在该标准正交基上是稀疏的。之后，本方法将光源图形在该标准正交基上展开得到系数向量<img file="DDA0000478469810000011.TIF" wi="56" he="56" />并将SO优化问题构造为在线性限制条件下求解<img file="DDA0000478469810000012.TIF" wi="32" he="55" />的最小L1范数的图像恢复问题。其中线性限制条件为在晶片处设定的若干观测点上的光刻胶中成像与目标图形一致。较之传统的采用共轭梯度法的SO算法，本发明所涉及的SO方法能够更为有效的提高运算效率，提高优化后光源的可制造性，以及光刻系统的工艺窗口。同时本发明采用矢量成像模型描述光刻系统的成像过程，优化后的光源不但适用于小NA的情况，也适用于NA>0.6的情况，满足高NA浸没式光刻系统的仿真精度要求。
发明专利
CN201410099897.8
2014-03-18
CN103901738A
2014-07-02
G03F7/20(2006.01)I
北京理工大学
马旭;宋之洋;高杰;李艳秋
100081 北京市海淀区中关村南大街5号
北京理工大学专利中心 11120
李爱英%杨志兵
北京;11
一种采用压缩感知技术的光源优化方法，其特征在于，具体步骤为：步骤101、将光源初始化为大小为N<sub>s</sub>×N<sub>s</sub>的光源图形J，将掩模图形M和目标图形<img file="FDA0000478469780000011.TIF" wi="35" he="51" />栅格化为N×N的图形；步骤102、对目标图形<img file="FDA0000478469780000012.TIF" wi="35" he="51" />进行从左上至右下的逐行扫描，并将<img file="FDA0000478469780000013.TIF" wi="42" he="52" />转化为N<sup>2</sup>×1的向量<img file="FDA0000478469780000014.TIF" wi="59" he="58" />对光源图形J进行从左上至右下的逐行扫描，并将J转化为N<sup>2</sup>×1的向量<img file="FDA0000478469780000015.TIF" wi="59" he="58" />步骤103、选定一组标准正交基，使得向量<img file="FDA0000478469780000016.TIF" wi="38" he="52" />在该标准正交基上是稀疏的，并将上述标准正交基对应的变换矩阵记为Ψ；将向量<img file="FDA0000478469780000017.TIF" wi="33" he="51" />在Ψ上展开得到<img file="FDA0000478469780000018.TIF" wi="186" he="53" />其中<img file="FDA0000478469780000019.TIF" wi="33" he="52" />为展开后的系数：步骤104、采用掩模图形M计算照明交叉系数矩阵I<sub>cc</sub>；步骤105、在晶片处选择K个观测点，选取向量<img file="FDA00004784697800000110.TIF" wi="33" he="51" />中对应上述K个观测点的K个元素，组成一个压缩后的向量<img file="FDA00004784697800000111.TIF" wi="75" he="59" />选取I<sub>cc</sub>矩阵中对应上述K个观测点的K行，组成一个压缩后的TCC矩阵I<sup>s</sup><sub>cc</sub>；步骤106、将光源优化SO构造为如下形式：<img file="FDA00004784697800000112.TIF" wi="288" he="97" />s.t.<img file="FDA00004784697800000113.TIF" wi="211" he="64" />其中<img file="FDA00004784697800000114.TIF" wi="223" he="59" /><img file="FDA00004784697800000115.TIF" wi="97" he="64" />为向量<img file="FDA00004784697800000116.TIF" wi="32" he="52" />的1范数，s.t.<img file="FDA00004784697800000117.TIF" wi="189" he="64" />表示以<img file="FDA00004784697800000118.TIF" wi="189" he="64" />作为线性限制条件；步骤107、采用线性布莱格曼算法求解步骤106中SO的形式，获得对应最优光源图形的向量<img file="FDA00004784697800000119.TIF" wi="56" he="72" />步骤108，计算优化后的光源图形为<img file="FDA00004784697800000120.TIF" wi="187" he="67" />