MEMS振子及其制造方法、电子设备以及移动体

摘要：

本发明提供MEMS振子及其制造方法、电子设备以及移动体，可抑制振动频率的改变和破损。MEMS振子具有：绝缘部；设置于绝缘部的一个面的第1电极、固定部和功能部；以及第2电极，其被设置成至少一部分隔着间隙与第1电极重叠，第2电极与功能部抵接，从固定部起延伸设置。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410063348.5

申请日期：2014-02-25

公开/公告号：CN104022752A

公开/公告日：2014-09-03

主分类号：H03H9/02(2006.01)I

申请/专利权人:精工爱普生株式会社

发明/设计人:衣川拓也;山田明法

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人:李辉%马建军

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种MEMS振子，其特征在于，该MEMS振子具有：绝缘部；设置于所述绝缘部的一个面的第1电极、固定部和功能部；以及第2电极，其被设置成在从与所述一个面垂直的方向俯视时，至少一部分隔着间隙与所述第1电极重叠，所述第2电极与所述功能部抵接，从所述固定部起延伸设置。