产生方法和信息处理装置

摘要：

本发明涉及一种产生方法和信息处理装置。本发明提供一种产生在用于曝光基板的曝光装置中使用的多个掩模的图案的数据的产生方法，产生方法包括以下步骤：根据以要在基板上形成的图案要素为交点的网格上的多个点规定容许在构成要在基板上形成的目标图案的目标图案要素的点以外转印图案的容许点的步骤；和对包含到相邻的目标图案要素的距离比曝光装置的分辨率极限短的目标图案要素的图案要素组将间隙被容许点填充的网格上的相邻的目标图案要素形成组的步骤。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410053642.8

申请日期：2014-02-18

公开/公告号：CN104007607A

公开/公告日：2014-08-27

主分类号：G03F1/00(2012.01)I

申请/专利权人:佳能株式会社

发明/设计人:荒井祯

主申请人地址:日本东京

专利代理机构:中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人:罗银燕

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种产生在用于曝光基板的曝光装置中使用的多个掩模的图案的数据的产生方法，包括由计算机执行的以下步骤：第一步骤，根据以要在基板上形成的图案要素为交点的网格上的多个点，规定容许在构成要在基板上形成的目标图案的目标图案要素的点以外转印图案的容许点；第二步骤，对于包含到相邻的目标图案要素的距离比曝光装置的分辨率极限短的目标图案要素的图案要素组，将间隙被容许点填充的网格上的相邻的目标图案要素形成组；和第三步骤，产生多个掩模的图案的数据，使得与在第二步骤中形成组的目标图案要素对应的掩模图案要素被布置于相同的掩模中。