一种具有低热弹性阻尼结构的扭转式微机电谐振器件

摘要：

本发明公开了一种具有低热弹性阻尼结构的扭转式微机电谐振器件，包括基底、设置在基底上的低热弹性阻尼结构、驱动电极和感应电极，以及由低热弹性阻尼结构支撑的扭转平板，低热弹性阻尼结构包括位于同一轴线上的、具有矩形截面的第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁，扭转平板能够绕第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁所在的轴线旋转，驱动电极和感应电极对称设置在低热弹性阻尼结构的轴线两侧，第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁的矩形截面的长边垂直于基底。本发明中扭转支撑梁横截面的长边保持垂直于基底平面，此时产生的热弹性阻尼是小于长边水平放置，尤其是高频时，热弹性阻尼明显下降。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410001421.6

申请日期：2014-01-02

公开/公告号：CN103780221A

公开/公告日：2014-05-07

主分类号：H03H9/24(2006.01)I

申请/专利权人:东南大学

发明/设计人:李普;方玉明;台永鹏

主申请人地址:211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号

专利代理机构:南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249

代理人:杨晓玲

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种具有低热弹性阻尼结构的扭转式微机电谐振器件，其特征在于，该器件包括基底（4）、设置在所述基底（4）上的低热弹性阻尼结构、驱动电极（5）和感应电极（6），以及由所述低热弹性阻尼结构支撑的扭转平板（1），所述低热弹性阻尼结构包括位于同一轴线上的、具有矩形截面的第一扭转支撑梁（2）和第二扭转支撑梁（3），扭转平板（1）能够绕第一扭转支撑梁（2）和第二扭转支撑梁（3）所在的轴线旋转，所述驱动电极（5）和感应电极（6）对称设置在低热弹性阻尼结构的轴线两侧，所述第一扭转支撑梁（2）和第二扭转支撑梁（3）的矩形截面的长边垂直于基底（4）。