一种无热弹性阻尼扭转微机电谐振器件

摘要：

本发明公布了一种无热弹性阻尼扭转微机电谐振器件，包括基底、设置在基底上的第一驱动电极、第二驱动电极、感应电极、位于同一轴线上的第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁，以及由第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁共同支撑的扭转平板。扭转平板能够绕第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁所构成的扭转轴线旋转，第一驱动电极和第二驱动电极设置在扭转轴线的同一侧，感应电极设置在扭转轴线的另一侧，第一扭转支撑梁和第二扭转支撑梁的横向截面积相等。本发明的微机电谐振器件中，驱动电极能产生纯扭转力矩，纯扭转力矩引起纯扭转变形，纯扭转变形不产生热弹性阻尼。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201410001061.X

申请日期：2014-01-02

公开/公告号：CN103762957A

公开/公告日：2014-04-30

主分类号：H03H9/24(2006.01)I

申请/专利权人:东南大学

发明/设计人:李普;方玉明;台永鹏

主申请人地址:210096 江苏省南京市四牌楼2号

专利代理机构:南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249

代理人:杨晓玲

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种无热弹性阻尼扭转微机电谐振器件，其特征在于，该器件包括基底（4）、设置在所述基底（4）上的第一驱动电极（5）、第二驱动电极（6）、感应电极（7）、位于同一轴线上的第一扭转支撑梁（2）和第二扭转支撑梁（3），以及由所述第一扭转支撑梁（2）和第二扭转支撑梁（3）共同支撑的扭转平板（1），所述扭转平板（1）能够绕第一扭转支撑梁（2）和第二扭转支撑梁（3）所构成的扭转轴线旋转，所述第一驱刀¨电极（5）和第二驱动电极（6）设置在扭转轴线的同一侧，所述感应电极（7）设置在扭转轴线的另一侧，所述第一扭转支撑梁（2）和第二扭转支撑梁（3）的横向截面积相等。