一种灯箱移动装置

摘要：

本实用新型涉及曝光技术领域，具体而言，涉及一种灯箱移动装置，包括横梁和二维运动平台，二维运动平台安装于横梁上，二维运动平台通过支撑架与灯箱连接；横梁与竖梁连接，并通过竖梁固定于机架上。本实用新型提供的灯箱移动装置，通过二维运动平台控制灯箱在X和Y方向上运动，实现灯箱做二维运动，同时，能够通过控制二维运动平台移动轨迹和速度，满足紫外光的高均匀度和不同能量需求，避免局部的能量叠加和不均。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201320833387.X

申请日期：2013-12-17

公开/公告号：CN203759423U

公开/公告日：2014-08-06

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:四川聚能核技术工程有限公司

发明/设计人:李炬;佘瑞峰;肖丽;王金鹏;李松凌;李小蓉;佘振宇

主申请人地址:621700 四川省绵阳市江油市德胜南路87号

专利代理机构:北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371

代理人:吴开磊

国别省市代码:四川;51

权利要求：

一种灯箱移动装置，其特征在于，包括横梁和二维运动平台，所述二维运动平台安装于所述横梁上，所述二维运动平台通过支撑架与灯箱连接；所述横梁与竖梁连接，并通过竖梁固定于机架上，所述支撑架包括两个角钢，两个所述角钢与所述灯箱连接，两个所述角钢之间设有横板，所述二维运动平台设于所述横板与所述横梁之间。