一种光罩正反侦测简易装置

摘要：

本实用新型提供一种光罩正反侦测简易装置，所述光罩正反侦测简易装置至少包括：光罩盒；设有位于其中心线两端的对称标识以及位于该中心线靠近光罩ID一侧的至少一个透光标识；位于光罩盒上方的传感器；与所述传感器相连接的信号采集装置。在光罩上设计有位于该中心线靠近光罩ID一侧的透光标识，使用安装简单、成本低廉的光学传感器替代安装复杂、成本造价昂贵的可选择安装部件标签读取装置来对透光标识进行侦测识别，本实用新型保证侦测识别正确的前提下，大大简化了安装过程，节省了时间，明显的降低了成本。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201320821552.X

申请日期：2013-12-12

公开/公告号：CN203643743U

公开/公告日：2014-06-11

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:中航（重庆）微电子有限公司

发明/设计人:彭安

主申请人地址:401331 重庆市沙坪坝区西永镇西永大道25号

专利代理机构:上海光华专利事务所 31219

代理人:李仪萍

国别省市代码:重庆;85

权利要求：

一种光罩正反侦测简易装置，其特征在于，所述光罩正反侦测简易装置至少包括：光罩盒；收容于所述光罩盒内并设有光罩ID的光罩；所述光罩上设有位于其中心线两端的对称标识以及位于该中心线靠近光罩ID一侧的至少一个透光标识；设置于所述光罩盒上方的传感器；所述传感器包括发射光的发射端、接收该发射光的反射光的接收端以及用于将接收到的反射光光强和预设光强比对的光强判定模块；所述发射光在光罩正置或反置时照射所述透光标识；与所述传感器光强判定模块相连接的信号采集装置。