一种旋转式三维曝光装置

摘要：

本实用新型公开了一种旋转式三维曝光装置，包括一个旋转样品台和驱动旋转样品台的第一步进马达，所述旋转样品台和第一步进马达垂直固定在一个旋转可控的中轴上，所述中轴通过轴承固定在机箱上并由第二步进马达驱动，所述的旋转样品台上方设有LED平行紫外光源，机箱上设有控制面板，控制面板上设有显示屏，显示屏下方依次设有倾斜角旋钮、步进角度旋钮、间隔时间旋钮、启动曝光按钮和停止曝光按钮；本实用新型的有益效果是：1.曝光平面方向任意可调；2.样品在曝光平面的旋转任意可调；3.适用于各类斜向曝光，包括连续旋转曝光、分步多角度曝光；4.可以对样品进行正向或背向曝光；5.系统制作简单，操作灵活，结构紧凑，成本低，可批量生产。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201320715430.2

申请日期：2013-11-14

公开/公告号：CN203825361U

公开/公告日：2014-09-10

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:武汉介观生物科技有限责任公司%江汉大学

发明/设计人:陈勇;石剑;唐亚东;张正涛;曹一平

主申请人地址:430075 湖北省武汉市东湖高新开发区高新大道666号光谷生物城B4-432

专利代理机构:武汉凌达知识产权事务所(特殊普通合伙) 42221

代理人:宋国荣

国别省市代码:湖北;42

权利要求：

一种旋转式三维曝光装置，其特征在于：包括一个旋转样品台（1）和驱动旋转样品台（1）的第一步进马达（2），所述旋转样品台（1）和第一步进马达（2）垂直固定在一个旋转可控的中轴（3）上，所述中轴（3）通过轴承（4）固定在机箱（5）上并由第二步进马达（6）驱动，所述的旋转样品台（1）上方设有LED平行紫外光源（8）。