一种曝光机的平行光镜调整机构
本实用新型公开了一种曝光机的平行光镜调整机构,包括具有四个侧边的平行光镜固定组,所述平行光镜固定组的四个侧边中的其中两个相对的侧边设有用于调节所述平行光镜固定组高度的第一调节装置,衔接该两个相对的侧边的其中一侧边设有用于调节所述平行光镜固定组的第二调节装置。本实用新型的曝光机的平行光镜调整机构可避免平行光镜破损,结构简单,实用性强。
实用新型
CN201320646978.6
2013-10-18
CN203551945U
2014-04-16
G03F7/20(2006.01)I
志圣科技(广州)有限公司
黄建
510850 广东省广州市花都区狮岭镇利和路6号
广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295
任琳
广东;44
一种曝光机的平行光镜调整机构,包括具有四个侧边的平行光镜固定组,其特征在于:所述平行光镜固定组的四个侧边中的其中两个相对的侧边设有用于调节所述平行光镜固定组高度的第一调节装置,衔接该两个相对的侧边的其中一侧边设有用于调节所述平行光镜固定组的第二调节装置。