一种用于光刻机工件台的线缆台

摘要：

一种用于光刻机工件台的线缆台，主要应用于半导体光刻机中。该线缆台含有从平面电机引出的线缆束、X方向和Y方向直线导轨滑块机构、X方向直线电机和Y方向驱动装置。Y方向直线导轨滑块机构通过L型连接板与X方向直线导轨滑块机构的滑块连接；线缆束与X方向直线导轨滑块机构的滑块连接；Y方向驱动装置含有微型伺服电机、一个沿Y轴方向布置的同步带传动机构和悬臂支撑杆。本实用新型的线缆束与平面电机之间没有硬连接，线缆台可自由运动；通过线性光栅尺和光电位置探测器跟随的方式控制线缆台和平面电机动子之间的距离，避免了线缆束对平面电机动子运动的干扰，进而降低了线缆束对工作台的响应速度和运动过程中的速度和运动定位精度的影响。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201320538946.4

申请日期：2013-08-30

公开/公告号：CN203465518U

公开/公告日：2014-03-05

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:清华大学%北京华卓精科科技有限公司

发明/设计人:朱煜;刘召;张鸣;成荣;杨开明;徐登峰;张利;秦慧超;赵彦坡;胡清平;田丽;叶伟楠;张金;尹文生;穆海华;胡金春

主申请人地址:100084 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室

专利代理机构:北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人:邸更岩

国别省市代码:北京;11

权利要求：

一种用于光刻机工件台的线缆台，其特征在于：所述的线缆台含有从平面电机引出的线缆束（8）、X方向直线导轨滑块机构（5）、Y方向直线导轨滑块机构（6）、X方向直线电机（7）和Y方向驱动装置（9）；所述的Y方向直线导轨滑块机构（6）通过一个L型连接板（13）与X方向直线导轨滑块机构（5）的滑块连接在一起；所述的线缆束（8）与所述的X方向直线导轨滑块机构（5）的滑块连接，所述的X方向直线电机驱动X方向直线导轨滑块机构（5）的滑块沿着X方向运动；所述的Y方向驱动装置（9）含有一个微型伺服电机（10）、一个沿Y轴方向布置的同步带传动机构（11）和一个悬臂支撑杆（12）；所述的悬臂支撑杆（12）沿Y方向布置；所述的微型伺服电机（10）设置在悬臂支撑杆（12）的固定端，所述的同步带传动机构（11）的主动轮设置在悬臂支撑杆（12）的固定端，从动轮设置在悬臂支撑杆（12）的非固定端，微型伺服电机（10）的转轴与同步带传动机构（11）的主动轮同轴布置，驱动同步带传动机构（11）的主动轮转动；同步带传动机构（11）的传动带的两端分别绕过主动轮和从动轮与所述的Y方向直线导轨滑块机构（6）的滑块固定在一起；Y方向直线导轨滑块机构（6）的导轨设置在所述的悬臂支撑杆上。