一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台

摘要：

一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台，该线缆台所述的线缆台含有从平面电机引出的线缆束、一个柔性关节、一个Y方向直线气浮导轨滑块机构、一个X方向直线导轨滑块机构和一个X方向直线电机。所述的线缆台与平面电机动子没有硬连接，在X方向由大行程直线电机负责扫描方向驱动，另外在y方向则为一种直线电机加气浮轴承结构进行导向驱动。线缆台的沿X方向和沿Y方向的大行程测量采用线性光栅，精密测量采用两个光电位置探测器进行测量。该线缆台在沿X轴、沿Y轴和沿Z轴转动的三个自由度设置成自由的连接结构，避免了线缆束对平面电机动子运动的干扰，在满足了高运动精度和定位精度的要求同时，又简化了线缆台结构。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201320538935.6

申请日期：2013-08-30

公开/公告号：CN203465517U

公开/公告日：2014-03-05

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:清华大学%北京华卓精科科技有限公司

发明/设计人:朱煜;张鸣;成荣;刘召;杨开明;徐登峰;张利;秦慧超;赵彦坡;胡清平;田丽;叶伟楠;张金;尹文生;穆海华;胡金春

主申请人地址:100084 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室

专利代理机构:北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人:邸更岩

国别省市代码:北京;11

权利要求：

一种用于光刻机工件台的具有柔性关节的线缆台，其特征在于：所述的线缆台含有从平面电机引出的线缆束（8）、柔性关节（7）、Y方向直线气浮导轨滑块机构（6）、X方向直线导轨滑块机构（5）和X方向直线电机（9）；所述的线缆束（8）与所述的X方向直线导轨滑块机构（5）的滑块连接，所述的X方向直线电机（9）驱动X方向直线导轨滑块机构（5）的滑块沿着X方向运动；所述的柔性关节（7）含有第一滚珠轴承（11）、第二滚珠轴承（12）和一个沿X方向布置的微型直线导轨滑块机构（13）；所述的第一滚珠轴承（11）沿Y方向布置，第一滚珠轴承的转轴与微型直线导轨滑块机构（13）的导轨连接，第一滚珠轴承的轴套和所述的第二滚珠轴承（12）的轴套通过一个连接块（10）固定在一起；所述的微型直线导轨滑块机构（13）的滑块通过一个T形连接块（16）与平面电机的动子连接在一起；第二滚珠轴承（12）沿Z轴方向布置，第二滚珠轴承（12）的转轴与所述的Y方向直线气浮导轨滑块机构（6）的滑块连接在一起；所述的Y方向直线气浮导轨滑块机构（6）是通过一个L型连接板（18）与X方向直线导轨滑块机构（5）的滑块连接在一起。