一种薄膜体声波谐振器及一种滤波器、振荡器、射频模块

摘要：

本实用新型提供一种薄膜体声波谐振器及一种滤波器、振荡器、射频模块，其中一种薄膜体声波谐振器包括衬底层（1）和制备于所述衬底层（1）上的环形功能层（2）；所述环形功能层（2）包括沿远离所述衬底层（1）方向设置的第一电极（201）、铁电材料层（202）和第二电极（203）；所述衬底层（1）上开设空气空腔（101），所述空气空腔（101）横向上面积大于所述环形功能层（2）外边界所围成的面积，其中的谐振器利用铁电材料的电致伸缩效应，通过改变外加直流电压的大小，控制铁电材料应力的变化，进而控制声波的速度，而谐振频率与声波速度成正比，从而控制谐振频率的变化。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201320526762.6

申请日期：2013-08-27

公开/公告号：CN203416228U

公开/公告日：2014-01-29

主分类号：H03H3/02(2006.01)I

申请/专利权人:张家港恩达通讯科技有限公司

发明/设计人:朱欣恩

主申请人地址:215614 江苏省苏州市张家港市凤凰镇凤凰科技园E栋

专利代理机构:北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人:张建纲

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括衬底层（1）和制备于所述衬底层（1）上的环形功能层（2）；所述环形功能层（2）包括沿远离所述衬底层（1）方向设置的第一电极（201）、铁电材料层（202）和第二电极（203）；所述衬底层（1）上开设空气空腔（101），所述空气空腔（101）横向上面积大于所述环形功能层（2）外边界所围成的面积。