一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置
一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置,包括废液槽、第一过滤装置、溶解槽、第二过滤装置、纳滤装置和浓缩装置,废液槽包括沉淀剂进口和显影液废液进口,废液槽的出口通过连接管与第一过滤装置的进口连接,第一过滤装置的上部出口与溶解槽的第一进口连通,第一过滤装置的下部出口为TMAH废液出口,溶解槽的第二进口为溶剂进口,溶解槽的出口与第二过滤装置的进口连通,第二过滤装置的上部出口为残渣出口,第二过滤装置的下部出口与纳滤装置的入口连通,纳滤装置的第一出口为树脂出口,纳滤装置的第二出口为杂质出口,纳滤装置的第一出口与浓缩装置的入口连通,浓缩装置包括光刻胶树脂出口和溶剂出口。本实用新型降低成本、环保性良好。
实用新型
CN201320478076.6
2013-08-06
CN203433266U
2014-02-12
G03F7/26(2006.01)I
杭州格林达化学有限公司
梁小朝;黄源;尹云舰;陈栋其;王小眉
310051 浙江省杭州市萧山区临江工业园红十五线东杭州电化集团东门
杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241
王利强
浙江;33
一种显影液中光刻胶树脂回收再利用装置,其特征在于:所述回收再利用装置包括废液槽、第一过滤装置、溶解槽、第二过滤装置、纳滤装置和浓缩装置,所述废液槽包括沉淀剂进口和显影液废液进口,所述废液槽的出口通过连接管与第一过滤装置的进口连接,所述第一过滤装置的上部出口与所述溶解槽的第一进口连通,所述第一过滤装置的下部出口为TMAH废液出口,所述溶解槽的第二进口为溶剂进口,所述溶解槽的出口与所述第二过滤装置的进口连通,所述第二过滤装置的上部出口为残渣出口,所述第二过滤装置的下部出口与所述纳滤装置的入口连通,所述纳滤装置的第一出口为树脂出口,所述纳滤装置的第二出口为杂质出口,所述纳滤装置的第一出口与所述浓缩装置的入口连通,所述浓缩装置包括光刻胶树脂出口和溶剂出口。