产酸剂和含有它的光刻胶

摘要：

产酸剂和含有它的光刻胶。提供作为光刻胶组合物组分特别有用的产酸剂化合物。在一个优选的方面，提供光刻胶，包括：(i)一种聚合物；(ii)第一鎓盐产酸剂，当光刻胶组合物曝光于活化辐射时，其产生第一种酸；和(iii)第二鎓盐产酸剂，其1)含有共价键合的酸不稳定部分并且2)当光刻胶组合物曝光于活化辐射时，其产生第二种酸，其中第一种酸和第二种酸具有相差至少0.5的pKa值。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310757451.5

申请日期：2013-12-30

公开/公告号：CN103913951A

公开/公告日：2014-07-09

主分类号：G03F7/004(2006.01)I

申请/专利权人:罗门哈斯电子材料有限公司

发明/设计人:J·W·撒克里;P·J·拉宝美;J·F·卡梅伦

主申请人地址:美国马萨诸塞州

专利代理机构:上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人:陈哲锋

国别省市代码:美国;US

权利要求：

一种光刻胶组合物，所述光刻胶组合物包括：(i)一种聚合物；(ii)第一鎓盐产酸剂，当光刻胶组合物曝光于活化辐射时，所述第一鎓盐产酸剂产生第一种酸；和(iii)第二鎓盐产酸剂，所述第二鎓盐产酸剂1)含有共价键合的酸不稳定部分并且2)当光刻胶组合物曝光于活化辐射时，所述第二鎓盐产酸剂产生第二种酸；其中第一种酸和第二种酸具有相差至少0.5的pKa值。