MEMS谐振器

摘要：

本发明提供一种MEMS谐振器，包括：衬底；振动盘，所述振动盘的表面积大于侧面积；至少一对输入电极，形成在所述衬底上并位于所述振动盘的相对侧，用于为所述振动盘提供交流信号；输出电极，设置于所述振动盘上，所述输出电极和所述振动盘之间具有电容介质，其中所述输出电极响应于所述交流信号所导致的所述电容介质的电容变化而输出频率信号；输入偏置电压电极，与所述振动盘的下表面平行设置，用于为所述振动盘提供直流偏置电压信号；锚结构，用于将振动盘支撑于输入偏置电压电极上并将直流偏置电压信号传送到振动盘，以减小MEMS谐振器的动态电阻，降低功耗。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310719479.X

申请日期：2013-12-23

公开/公告号：CN103716009A

公开/公告日：2014-04-09

主分类号：H03H9/24(2006.01)I

申请/专利权人:江苏物联网研究发展中心

发明/设计人:张乐;欧文;明安杰;张文博;张宇;任耀辉

主申请人地址:214135 江苏省无锡市新区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C座6层

专利代理机构:北京品源专利代理有限公司 11332

代理人:胡彬

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种MEMS谐振器，其特征在于，包括：衬底；振动盘，所述振动盘的表面积大于侧面积；至少一对输入电极，形成在所述衬底上并位于所述振动盘的相对侧，用于为所述振动盘提供交流信号；输出电极，设置于所述振动盘上，所述输出电极和所述振动盘之间具有电容介质，其中所述输出电极响应于所述交流信号所导致的所述电容介质的电容变化而输出频率信号；输入偏置电压电极，与所述振动盘的下表面平行设置，用于为所述振动盘提供直流偏置电压信号；锚结构，用于将振动盘支撑于输入偏置电压电极上并将直流偏置电压信号传送到振动盘。