一种自动安装掩模板系统

摘要：

本发明公开了一种自动安装掩模板系统，用于实现一种高效安装掩模板系统。所述系统包括：控制装置、传送装置、检测装置和紫外固化装置；控制装置用于向传送装置发送第一控制信号，还用于在接收到检测装置发送的表示掩模板合格的检测结果时，向传送装置发送第二控制信号，以及用于在接收到检测装置发送的表示掩模板不合格的检测结果时，向传送装置发送第三控制信号；传送装置用于根据第一控制信号将掩模板放置在检测装置上；检测装置用于对位于其上的掩模板进行质量检测以确定其是否合格，并将检测结果发送给控制装置；紫外固化装置用于根据第二控制信号将掩模板放置在紫外固化装置上。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310699064.0

申请日期：2013-12-18

公开/公告号：CN103713472A

公开/公告日：2014-04-09

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:合肥京东方光电科技有限公司%京东方科技集团股份有限公司

发明/设计人:井杨坤

主申请人地址:230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号

专利代理机构:北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人:黄志华

国别省市代码:安徽;34

权利要求：

一种自动安装掩模板系统，其特征在于，包括：控制装置、传送装置、检测装置和紫外固化装置；所述控制装置，用于向所述传送装置发送携带当前待安装的掩模板的身份信息的第一控制信号；还用于，在接收到所述检测装置发送的表示掩模板检测合格的检测结果时，向所述传送装置发送第二控制信号；以及还用于，在接收到所述检测装置发送的表示掩模板检测不合格的检测结果时，向所述传送装置发送第三控制信号；所述传送装置，用于根据所述第一控制信号将与所述掩模板的身份信息相应的掩模板放置在所述检测装置上；还用于，在接收到所述第二控制信号时，将位于所述检测装置上的掩模板传送给紫外固化装置；以及还用于，在接收到所述第三控制信号时，更换检测装置上的掩模板；所述检测装置，用于对位于其上的掩模板进行质量检测以确定其是否合格，并将检测合格或检测不不格的结果发送给所述控制装置；所述紫外固化装置，用于安装传送装置传送来的掩模板。