一种全息光栅曝光干涉条纹相位移动与锁定装置
一种全息光栅曝光干涉条纹相位移动与锁定装置，属于光谱技术领域中涉及的一种装置。要解决的技术问题是提供一种全息光栅曝光干涉条纹相位移动与锁定装置。技术方案包括光源激光器、平面反射镜、分光片、声光移频器、定频声光调制器、光栅基底、相位测量接收器、控制器。光源激光分光后，两束光束通过定频声光调制器和声光移频器移频，一部分出射光干涉形成曝光干涉条纹，另外一部分分别进入两个相位测量接收器，通过外差法获取相干光束的相位差，控制器控制声光移频器驱动频率维持相位差恒定。该装置可以准确的对全息光栅曝光干涉条纹的相位进行有效的移动控制和相位锁定，对全息光栅制作技术与工艺水平的提高具有重要意义。
发明专利
CN201310693406.8
2013-12-17
CN103698983A
2014-04-02
G03F7/20(2006.01)I
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
宋莹;巴音贺希格;姜珊;李文昊;潘明忠
130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
长春菁华专利商标代理事务所 22210
陶尊新
吉林;22
一种全息光栅曝光干涉条纹相位移动与锁定装置，包括光源激光器（1）、第一定频声光调制器（2）、第一平面反射镜（3）、第一分光片（4）、第二平面反射镜（5）、第三平面反射镜（6）、声光移频器（7）、第二定频声光调制器（8）、第二分光片（11）、第三分光片（12）、第一扩束镜（13）、第二扩束镜（14）、光栅基底（15）、第四平面反射镜（16）、第四分光片（17）、第五平面反射镜（18）、第五分光片（19）、第六分光片（20）、第一相位测量接收器（21）、第二相位测量接收器（22）和控制器（23）；其特征是；所述光源激光器（1）发出的激光束经过第一定频声光调制器（2）后，出射零级光束和一级衍射光束，零级光束通过第一分光片（4）分成两束相干光束；一束相干光束经过第二平面反射镜（5）、声光移频器（7）后出射一级衍射光为移频干涉光束（9），所述移频干涉光束（9）通过第二分光片（11）后，透射光束通过第一扩束镜（13）扩束后照射在光栅基底（15）上，反射光束通过第五分光片（19）透射进入第一相位测量接收器（21）；另外一束相干光束经过第三平面反射镜（6）、第二定频声光调制器（8）后，出射的一级衍射光为定频干涉光束（10），经第三分光片（12）后透射光束通过第二扩束镜（14）扩束后照射在光栅基底（15）上，经第三分光片（12）反射的光束通过第六分光片（20）后透射进入第二相位测量接收器（22）；所述经第一扩束镜（13）的移频干涉光束（9）与经第二扩束镜（14）扩束的定频干涉光束（10）的两束相干光在光栅基底（15）上形成曝光用干涉条纹；经第一定频声光调制器（2）出射的一级衍射光作为相位测量参考光束，所述参考光束经过第一平面反射镜（3）、第四平面反射镜（16）后通过第四分光片（17）分为两束光束，其中透射光束通过第六分光片（20）后进入第二相位测量接收器（22），反射光束通过第五平面反射镜（18）、第五分光片（19）后进入第一相位测量接收器（21）；所述第一相位测量接收器（21）和第二相位测量接收器（22）通过连接线连接到控制器（23），所述第一相位测量接收器和第二相位测量接收器分别接收差频光信号并进行光电信号转换，转换后的电信号传入控制器（23），所述控制器（23）控制声光移频器的驱动频率，调整移频干涉光束的频率，实现干涉条纹相位移动与的闭环锁定。