一种水性光刻胶剥离液

摘要：

本发明公开了一种水性光刻胶剥离液，水性光刻胶剥离液由醇醚、二元醇、水溶性有机溶剂、季铵类氢氧化物、表面活性剂和纯水按一定比例混合而成。该剥离液剥离速度适中，1000倍显微镜下，剥离后的晶圆表面无光刻胶残留；10000倍显微镜下，对铝和铜金属层几乎没有腐蚀；与现有技术中有机剥离液使用温度在60℃~90℃以上相比，该剥离液在25~45℃使用温度下剥离速率快，使用能耗低；使用成本低，寿命长，环保。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310677506.1

申请日期：2013-12-13

公开/公告号：CN103676504A

公开/公告日：2014-03-26

主分类号：G03F7/42(2006.01)I

申请/专利权人:江阴润玛电子材料股份有限公司

发明/设计人:戈士勇

主申请人地址:214423 江苏省无锡市江阴市周庄镇欧洲工业园区

专利代理机构:江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247

代理人:杜兴

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种水性光刻胶剥离液，其特征在于，所述水性光刻胶剥离液由下列组分组成，所述组分的重量百分比为：醇醚???????????????????????30~40%；二元醇?????????????????????10~20%；水溶性有机溶剂?????????????15~30%；季铵类氢氧化物?????????????0.1~1%；表面活性剂?????????????????0.05~0.1%；其余为纯水。