一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法

摘要：

本发明涉及一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法，包括如下步骤：1）对表面含有浮雕微纳米结构的原始母板进行表面防粘处理；2）将巯基-烯材料均匀涂覆在步骤1）中的经过防粘处理的原始母板；3）将一块透明的弹性胶质材料覆盖在步骤2）中的巯基-烯材料上；4）利用紫外光对巯基-烯材料进行固化；5）固化成型后，将巯基-烯材料结构层和弹性胶质材料组成的复合微纳米结构与步骤1）中的原始母板分离；6）对步骤5）中的复合微纳米结构进行表面防粘处理，制备获得紫外光固化软印刷复合模板。本发明的显著特点是制作成本低廉，工艺简单，分辨率高，制备过程无需刻蚀和高真空条件，促进了软印刷技术在微纳结构加工领域的广泛应用。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310655163.9

申请日期：2013-12-08

公开/公告号：CN103616796A

公开/公告日：2014-03-05

主分类号：G03F7/00(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院光电技术研究所

发明/设计人:邓启凌;张满;史立芳;胡松;秦燕云;曹阿秀

主申请人地址:610209 四川省成都市双流350信箱

专利代理机构:北京科迪生专利代理有限责任公司 11251

代理人:杨学明%孟卜娟

国别省市代码:四川;51

权利要求：

一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法，其特征在于包括以下步骤：（1）获取表面含有浮雕微纳米结构的硅、石英或二氧化硅原始母板，并对母板进行表面防粘处理；（2）配制杨氏模量大于50MPa的巯基?烯材料；（3）将步骤（2）中配制的巯基?烯材料均匀涂覆在步骤（1）中经过处理的原始母板上；（4）获取一块用弹性胶质材料制备的柔性基板，轻轻地覆盖在步骤（3）中的巯基?烯材料上；（5）放置在紫外光下固化；（6）固化成型后，将由巯基?烯材料结构层和柔性基板组成的复合结构从原始母板上剥离下来；（7）对步骤（6）中的复合结构进行与步骤（1）中相同的表面防粘处理，获得可用于紫外光固化软印刷技术的柔性复合模板。