一种耐强酸的光掩膜及其制作方法

摘要：

本发明公开了一种耐强酸的光掩膜及其制作方法。该耐强酸的光掩膜包括：玻璃基板和设置在玻璃基板上的铬膜层，其中铬膜层包括朝向远离玻璃基板方向依次设置的铬碳氮化物遮光膜层和铬氮氧化物减反射膜层。该制作方法包括获取玻璃基板，在玻璃基板上形成铬膜层，其中形成铬膜层的步骤包括：在玻璃基板上形成铬碳氮化物遮光膜层；在铬碳氮化物遮光膜层上形成铬氮氧化物减反射膜层。本发明的具有双层结构铬膜层的光掩膜具有良好的耐强酸腐蚀性，因此可以采用强酸对本发明提供的光掩膜进行清洗，以使其保持洁净的状态，进而保证存储信息的可靠性。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310654685.7

申请日期：2013-12-04

公开/公告号：CN103616795A

公开/公告日：2014-03-05

主分类号：G03F1/68(2012.01)I

申请/专利权人:湖南普照信息材料有限公司%湖南电子信息产业集团有限公司

发明/设计人:徐根;陈社诚;周志刚

主申请人地址:410205 湖南省长沙市岳麓区麓枫路40号

专利代理机构:北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人:吴贵明%张永明

国别省市代码:湖南;43

权利要求：

一种耐强酸的光掩膜，包括玻璃基板（10）和设置在所述玻璃基板（10）上的铬膜层（20），其特征在于，所述铬膜层（20）包括朝向远离所述玻璃基板（10）方向依次设置的铬碳氮化物遮光膜层（21）和铬氮氧化物减反射膜层（23）。