一种用于光刻机角度镜接边抛光的方法
本发明公开了一种用于分步投影光刻机角度镜接边抛光的方法，包括：①根据待加工角度镜的结构，加工接边框架；②建立超净工作室和1级大理石精密工作台；③在精密工作台上，工作人员带上手套,用光学玻璃擦拭布蘸上酒精对角度镜的待抛光面进行擦拭；④将待加工角度镜嵌入所述的接边框架的内边内,使待抛光面与接边框架底面在同一个平面；⑤用填充剂将接边框架和角度镜胶合，成为框架角镜组合件；⑥修磨所述的框架角镜组合件的待抛光面；⑦抛光并修正；⑧分离接边框架和角度镜。本发明有效减少了抛光边缘塌陷尺寸,扩大了抛光面的通光孔径,提高了抛光效率,加工的角镜符合分步投影光刻机高质量要求。
发明专利
CN201310652352.0
2013-12-05
CN103645613A
2014-03-19
G03F7/20(2006.01)I
上海现代先进超精密制造中心有限公司
黄克飞;顾亚平;魏向荣
200433 上海市杨浦区国定路335号2号楼2401室
上海新天专利代理有限公司 31213
张泽纯
上海;31
一种用于分步投影光刻机角度镜接边抛光的方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：①根据待加工角度镜的结构，加工接边框架；所述的接边框架呈平行四边回字形,该平行四边回字形的内边尺寸等于待加工角度镜的外形尺寸；②建立超净工作室和1级大理石精密工作台，在精密工作台上进行下面的角度镜和接边框架的胶合工作；③在精密工作台上，工作人员带上手套,用光学玻璃擦拭布蘸上酒精对角度镜的待抛光面进行擦拭，对接边框架进行擦拭，仔细观看表面灰尘，直到无人眼可见灰尘，在工作台面上铺一张擦拭布,将擦拭好的接边框架放到精密工作台上，其坡面朝上；④将待加工角度镜嵌入所述的接边框架的内边内,角度镜的角度面与接边框架上平面重合，使待抛光面与接边框架底面在同一个平面；⑤用填充剂将接边框架和角度镜胶合，成为框架角镜组合件，人眼观察该角镜组合件，不得出现接缝形成无缝连接；⑥修磨所述的框架角镜组合件的待抛光面,要求抛光面平面度优于0.005mm,粗糙度Ra优于0.4微米；⑦将框架角镜组合件水平放置在抛光机的工作台面上,打开抛光机真空吸附功能,使得框架角镜组合件下基准面与抛光机工作台面紧密结合,将待抛光面水平放置进行抛光并修正；⑧将完成抛光的框架角镜组合件侵入融化剂，分离接边框架和角度镜。