一种二自由度高精度大行程气浮工件台

摘要：

本发明公开了一种二自由度高精度大行程气浮工件台，包括大理石底座，X向运动台，Y向运动台；所述大理石底座位于X向运动台和Y向运动台的底部，用于支撑整个X向运动台和Y向运动台；Y向运动台架设在X向运动台上，Y向运动台、X向运动台通过X向运动台的X横梁实现耦合，完成X向运动向Y向运动台传递，使该工件台具有XY两自由度运动功能；Y向运动台架在X向运动台上，构成一个“H”型两自由度大行程气浮工件台；该工件台采用了直线电机驱动和无摩擦的气浮导轨导向，使系统可以实现高速度，大行程的运动和高精度的定位。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310630092.7

申请日期：2013-11-29

公开/公告号：CN103592824A

公开/公告日：2014-02-19

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:中国科学院光电技术研究所

发明/设计人:周清华

主申请人地址:610209 四川省成都市双流350信箱

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人:宋焰琴

国别省市代码:四川;51

权利要求：

一种二自由度高精度大行程气浮工件台，其特征在于，包括：大理石底座(1)、X向运动台(100)和Y向运动台(300)；所述大理石底座(1)位于X向运动台(100)和Y向运动台(300)的底部，用于支撑整个X向运动台(100)和Y向运动台(300)；Y向运动台(300)架设在X向运动台(100)上，Y向运动台(300)、X向运动台(100)通过X向运动台(100)的X横梁(106)实现耦合，完成X向运动向Y向运动台传递，使该工件台具有XY两自由度运动功能。