一种新型热塑性压印胶及其合成与应用方法

摘要：

本发明属于纳米压印技术领域，具体公开了一种新型热塑性压印胶及其合成与应用方法。首先通过溶液聚合制备聚甲基丙烯酸异冰片酯，净化处理后配成0.5wt%的热压胶；然后用不同结构的硅模板进行热纳米压印，得到与硅模板结构相反的图形；通过氧气等离子体刻蚀去除压印胶残余层，暴露出衬底表面，利用电子束蒸发镀膜沉积金属材料；将样品放入甲苯中超声，得到与模板结构相同的金属图形。本发明的压印胶玻璃化转变温度较低，所需的压印温度较低（120℃）；并且易于溶解在有机溶剂中，非常方便进行进一步的举离工艺。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310544557.7

申请日期：2013-11-06

公开/公告号：CN103631088A

公开/公告日：2014-03-12

主分类号：G03F7/00(2006.01)I

申请/专利权人:无锡英普林纳米科技有限公司

发明/设计人:顾荣华

主申请人地址:214192 江苏省无锡市芙蓉中三路99号

专利代理机构:南京知识律师事务所 32207

代理人:李媛媛

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种新型热塑性压印胶，其特征在于，该热塑性压印胶的材料为聚甲基丙烯酸异冰片酯，其分子量Mn≈100000，玻璃化转变温度Tg=90℃。