一种多光路曝光设备的内层对位装置

摘要：

本发明公开了一种多光路曝光设备的内层对位装置，包括直线运动平台印刷电路板（PCB）、空间光调制器（SLM）、SLM成像镜筒、打标装置、图像采集设备、图像采集设备镜筒，所述PCB吸附在所述直线运动平台上，所述SLM下端连接有所述SLM成像镜筒，所述SLM成像镜投影在所述PCB上，所述打标装置固定在所述PCB一侧，所述图像采集设备下端连接有所述图像采集设备镜筒，所述图像采集设备通过所述图像采集设备镜筒采集所述PCB板上的图像。优选地，所述打标装置为uvLED或激光器，所述打标装置紧贴所述PCB安装。本发明的有益效果为，本发明的克服了标记各个空间光调制器SLM间相互扫描出图像不一致问题，运行操作简便，速度快，可以提高产能。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201310520982.2

申请日期：2013-10-29

公开/公告号：CN103529660A

公开/公告日：2014-01-22

主分类号：G03F9/00(2006.01)I

申请/专利权人:天津芯硕精密机械有限公司

发明/设计人:李显杰;陈勇

主申请人地址:300457 天津市滨海新区天津开发区黄海路167号

专利代理机构:天津市三利专利商标代理有限公司 12107

代理人:闫俊芬

国别省市代码:天津;12

权利要求：

一种多光路曝光设备的内层对位装置，其特征在于，包括直线运动平台印刷电路板（PCB）、空间光调制器（SLM）、SLM成像镜筒、打标装置、图像采集设备、图像采集设备镜筒，所述PCB吸附在所述直线运动平台上，所述SLM下端连接有所述SLM成像镜筒，所述SLM成像镜投影在所述PCB上，所述打标装置固定在所述PCB一侧，所述图像采集设备下端连接有所述图像采集设备镜筒，所述图像采集设备通过所述图像采集设备镜筒采集所述PCB板上的图像。